NanoMill微束定点离子减薄仪运行公告
 

NanoMill微束定点离子减薄仪

美国  Fischione  

MODEL1040

主要功能:

NanoMill微束定点离子减薄仪是一款超低能量微束离子束制样设备,它具有超低能量的惰性气体Ar离子源。该设备具备扫描功能的聚焦离子束,最小离子束斑1微米,去除非晶层的同时,不产生二次沉积效应,能够有效去除非晶层及离子注入问题。该设备还具备离子成像功能,能够高精度定位去除非晶层,是FIB样品/离子减薄样品后续精修绝佳制样工具。

主要指标:

离子能量范围:50 eV ~ 2 keV

冷台控温范围:-170~室温;

离子束束斑尺寸:≤1 μm

样品台倾转角度:-12°~ +30°;

最大离子束流:≥1 mA/cm2

样品要求:

FIB样品:一般要求FIB样品长度>10μm,最好以侧焊方式固定,样品内侧镂空以防止反沉积

2)离子减薄样品:需预先制备符合TEM观测要求的薄区,再在光镜下标定需要精修的区域;

3)磁性样品测试,需要联系管理员。

C117

沈圣成86685251

作者:, 日期:2023-04-02