为切实增强科技创新能力，推动高端材料表征技术服务水平迈上新台阶，公共技术中心于2025年12月2日至4日，特邀爱发科费恩斯（南京）仪器有限公司应用工程师丁志琴来所，举办了俄歇电子能谱（AES）专项培训。

12月3日的理论培训报告会，丁志琴系统介绍了AES的工作机制、信号特征、成像与成分分析方法及典型应用场景，并与参会人员围绕应用需求展开交流。随后，开展上机操作培训，重点包括设备关键配件的功能与维护、样品装载与真空流程、二次电子像与成分分析方法的设置、深度剖析的参数控制及典型问题处理。通过实际操作和案例演示，让大家熟悉设备整体运行逻辑与标准操作流程，全面掌握 AES 常用分析模式应用要点。12月4日，开展AES 了数据分析培训，培训内容涉及俄歇谱图识别、元素定性定量分析、深度剖析数据的处理逻辑以及多层结构的界面解析示例。通过案例讲解与上机演练，进加强对谱图特征的理解，掌握从原始数据到有效结果的分析路径。

本次系统培训显著提升了参训人员在AES理论认知、设备操作规范、参数优化策略以及谱图数据解析等方面的综合能力。大家不仅加深了对纳米级表面分析技术的认识，也进一步增强了开展高精度表征工作的实操能力。这为提升中心在复杂材料表面成分分析、界面行为研究及微区缺陷解析等方面的整体水平奠定了坚实基础，从而为科研项目攻关、科研创新与产业发展提供了更加坚实有力的技术支撑。

理论培训现场

设备上机培训过程

俄歇电子能谱（AES）是一种典型的纳米级表面分析技术，通过电子束入射激发表面产生二次电子与俄歇电子，其中二次电子用于表面形貌观察，俄歇电子用于元素及部分化学态的定性与定量分析。AES可利用离子溅射枪实现纵向深度剖析；二次电子成像的空间分辨率可达3 nm，成分分布像分辨率约为8 nm，可真正实现纳米尺度的形貌与成分表征。该技术可分析固体材料表面各类信息，包括原材料表面元素组成、晶粒及金相分布、晶界偏析；也能识别纳米尺度的缺陷特征，如颗粒污染、磨痕、腐蚀、掺杂与吸附。同时，AES在钝化层、包覆层、掺杂深度、多层膜等结构的深度解析方面也具有突出优势，广泛应用于合金、催化、半导体、能源电池材料及电子器件等领域。