6月3日，宁波材料所公共技术服务中心邀请德国蔡司公司应用工程师举办了一场聚焦离子束（FIB）应用讲座，并在实验室进行了不同样品的检测实战演示，促进了科研人员对FIB的了解及应用。

宁波材料所新购置的ZEISS聚焦离子束（FIB）已经安装完毕即将投入使用。聚焦离子束（FIB）在扫描电镜（SEM）的基础上，配备了离子束镜筒，可在纳米尺度利用离子轰击样品表面，实现材料的剥离、沉积、注入等加工工艺。FIB的使用，为TEM块体制样提供了新的方法，特别是Si等轻质导电性材料，让我们可以选择感兴区，制备相对较大的薄区，同时制备时间相对会缩短。薄膜断面的制备也会更加方便，但由于加工尺度限制，无法制备大范围的断面。利用三维重构软件包，可构建样品3D结构，更加直观的观察内部结构差异。

由于FIB在研究所内的需求较多，所以此次讲座吸引了近百人参加，好多人因没有更多座位而在讲座现场站着听讲。讲座结束后，工程师还到测试中心FIB实验室进行了现场样品演示，使大家对设备的使用有了一个更加直观的印象。

聚焦离子束设备的投入使用，将对样品的测试表征提供新的途径，极大提高科研效率。而且宁波材料所此次购置的FIB的 电子束分辨率1.0nm@15kv， 离子束分辨率优于2.5nm@30kv，配备GIS气体注入系统（Pt、Water、XeF2、I、C）、EDS能谱仪、OMNI PROBE纳米机械手、inlens探头，ESB探头，NTS BSD探头、STEM探头，配置较全，能很好的满足所内外的需求，必将对所内科研工作起到较好的支撑作用。

                          公共技术服务中心 

                                   2015-6-3