残余应力仪 Residual Stress Tester

厂 商 韩国J&L Tech.公司
型 号 JLCST022
到货日期 2007年10月

技术指标
·应力范围：0.001～100GPa
·分辨率：0.001GPa
·扫描长度：30mm
·尺寸：400×400×400mm
·重量：20kg

主要用途
该仪器主要用于计算各类晶态或非晶态薄膜的曲率、应变和残余应力大小。原理是：当样品在一维方向移动时，通过激光束来记录薄膜沉积前后的样品曲率变化，在一定假设条件下（1、试样弯曲度远小于基材厚度；2、薄膜厚度远小于基材厚度；3、试样的长宽比尽量大于10），由Stoney方程计算可得应力大小。测量过程中无需提供薄膜的相关晶格参数，具有方便、快捷特点。