M-2000DI光谱型椭偏仪

Spectroscopic Ellipsometer

仪器厂商：美国J.A.Woollam公司

型    号：M-2000DI      

到货日期：2008.4.19

技术指标：

● 波长范围：190~1700 nm

● 光谱分辨率：1.6 nm（波长小于1000 nm）；3.7 nm（波长大于1000 nm）

● 自动入射角范围：45~90⁰

● 自动样品台：150 mm*150 mm

● 旋转补偿器，Ψ可测范围0~90⁰，Δ可测范围0~360⁰

主要用途：

用于单层或多层透明或半透明薄膜的厚度和光学常数的测定，广泛应用于物理、化学、材料、生物、高分子、光学镀膜、太阳能电池、平板显示等领域的研究。