主要功能：

NanoMill微束定点离子减薄仪是一款超低能量微束离子束制样设备，它具有超低能量的惰性气体Ar离子源。该设备具备扫描功能的聚焦离子束，最小离子束斑1微米，去除非晶层的同时，不产生二次沉积效应，能够有效去除非晶层及离子注入问题。该设备还具备离子成像功能，能够高精度定位去除非晶层，是FIB样品/离子减薄样品后续精修绝佳制样工具。

主要指标：

◆ 离子能量范围：50 eV ~ 2 keV；

◆ 冷台控温范围：-170℃~室温；

◆ 离子束束斑尺寸：≤1 μm ；

◆ 样品台倾转角度：-12°~ +30°；

◆ 最大离子束流：≥1 mA/cm²。

样品要求：

（1）    FIB样品：一般要求FIB样品长度＞10μm，最好以侧焊方式固定，样品内侧镂空以防止反沉积 ；