NanoMill微束定点离子减薄仪
微束定点离子减薄仪、
（2）离子减薄样品：需预先制备符合TEM观测要求的薄区，再在光镜下标定需要精修的区域。
型号：MODEL1040
投用时间：2023年2月
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主要功能： NanoMill微束定点离子减薄仪是一款超低能量微束离子束制样设备，它具有超低能量的惰性气体Ar离子源。该设备具备扫描功能的聚焦离子束，最小离子束斑1微米，去除非晶层的同时，不产生二次沉积效应，能够有效去除非晶层及离子注入问题。该设备还具备离子成像功能，能够高精度定位去除非晶层，是FIB样品/离子减薄样品后续精修绝佳制样工具。 主要指标： ◆离子能量范围：50 eV ~ 2 keV； ◆冷台控温范围：-170℃~室温； ◆离子束束斑尺寸：≤1 μm； ◆样品台倾转角度：-12°~ +30°； ◆最大离子束流：≥1 mA/cm2。 样品要求： （1） FIB样品：一般要求FIB样品长度＞10μm，最好以侧焊方式固定，样品内侧镂空以防止反沉积； |
放置地点：测试中心C117；管理员：沈圣成86685251
作者：， 日期：2023-04-02
