投用时间：2023年2月

主要功能：

JEM-F200冷场型透射电镜安装高稳定性、高亮度和高能量分辨率的冷场发射电子枪，高亮度的电子束缩短了分析时间，并且还降低了来色差，实现了高分辨率的观察。该设备采用全新的四级聚光镜设计，分别控制亮度和汇聚角，能最大程度发挥出STEM功能的优势。该设备配备有双探头超级能谱仪，能够实现快速高精度的EDS Mapping分析。

主要指标：

◆ TEM点分辨率：0.23 nm；

◆ TEM线分辨率：0.1 nm；

◆ STEM分辨率：0.16 nm； 

◆ 大面积双探头能谱仪：固体角1.7 srad、面积200 mm²；

样品要求：

 （1）纳米粉末：一般要求颗粒尺寸小于200 nm（电子束可穿透），颗粒表面清洁（表面活性剂等需清洗）。样品不含结晶水，在电子束辐照稳定；

（2）块体样品：需预先制备符合TEM观测要求的薄区，通常采用离子减薄或聚焦离子束（FIB）手段进行TEM样品制备；