厂商：Bruker AXS
型 号：D8 ADVANCE

主要功能：

高分辨X射线衍射仪配有Gobel 反射镜和Ge分析晶体单色器，可获得近平行的入射X射线。能够精确进行半导体单晶和外延层材料的结晶完整性分析，外延层及相应半导体器件结构的组分、厚度、弛豫度等参数的测定，外延结构的晶格失配及应变状态分析， Area Map均匀性分析，倒易空间mapping (RSM)，双轴晶和三轴晶X射线衍射，对称和非对称扫描等多晶薄膜的掠射分析、反射率分析，可以对单晶、薄膜及纳米材料等进行精细的X射线衍射分析。

主要指标：

● X射线发生器：Cu靶，功率3kW，陶瓷光管  

● 光学附件：Gobel镜、两次反射Ge(022)单晶单色器、四次反射Ge（022）单色器

● 扫描方式：θ-θ测角仪  

● 探测器：LynxEye阵列探测器  

● 高精度五轴全自动尤拉环：CHI圆，-11°-- 98°；PHI圆，360度 ；X轴平移，80mm ；Y轴平移，80mm；Z轴平移，2mm；

● 倾斜样品台：提供Zeta和Xi 两个自由度；

● 面内衍射部分：可旋转探测器臂，可实现面外(out plane)2theta与面内(in plane)2theta自动切换。

样品要求：

● 外延薄膜