主要功能：

扫描探针显微镜利用具有纳米量级曲率半径的微探针在样品表面往复扫描，通过探测样品与纳米探针之间的相互作用力来获取样品的基本物性，主要用于测量材料的表面形貌、粘弹性、压电力、摩擦力等表面性质。Dimension Icon 型扫描探针显微镜主要测试功能包括：表面三维形貌（粗糙度）测试、静电力显微镜（EFM）模式、磁力显微镜（MFM）模式、摩擦力显微镜（LFM）模式、压电力显微镜（PFM）模式、导电原子力显微镜（C-AFM）模式、扫描电容显微镜（SCM）模式、开尔文探针力显微镜（KPFM）模式等。

技术指标：

u 最大扫描范围：XY方向90 μm； Z方向10 μm

u 可支持样品尺寸：直径≤210 mm ;厚度≤15 mm

u XY方向定位噪音(闭环)：≤ 0.15nm RMS；Z方向噪音 (闭环)：≤ 0.035nm RMS

放置地点：测试中心C322

管理员：魏艳萍86885700