厂商：Carl Zeiss

型号：Auriga

参数与指标：

1.      加速电压：0.1V—30KV（SEM）；

          1-30kv（FIB）；

2.      放大倍数：12×—1000,000×（SEM）；

          300×—500000×（FIB）；

3. 分辨率：电子束1.0nm@15kV，1.9nm@1kV；

离子束优于2.5nm@30kV；

4.      探针电流范围：4 pA—20nA（SEM）；

              1pA—50nA（FIB）

5.X-射线能谱探测器：硅漂移探头；有效探测面积80mm^２；

元素探测范围：B（5）~Am（95）

主要配置及附件：

    GIS气体注入系统（Pt、Water、XeF2、I、C）、EDS能谱仪、OMNI PROBE纳米机械手、inlens探头，ESB探头，NTS BSD探头、STEM探头。

特色及用途：

    聚焦离子束（FIB）在扫描电镜（SEM）的基础上，配备了离子束镜筒，可在纳米尺度利用离子轰击样品表面，实现材料的剥离、沉积、注入等加工工艺。它具有聚焦离子束（FIB）的功能外，还具有扫描电子显微镜(SEM)的成像功能。主要功能：TEM透射电镜样品制备—可以选择感兴区，制备相对较大的薄区，同时制备时间相对会缩短。制得的TEM样品可以直接用TEM透射电子显微镜观察，无需其它处理。SEM扫描电子显微镜结构分析—可以进行二次电子形貌分析、背散射称度分析、EDS能谱分析。微纳结构加工—Omniprobe纳米机械手、离子束切割等的配合下，可以进行各种微纳材料的搬运和加工。力学及电学性能测试——通过相应的附件，可以实现微纳结构材料的电学性能测试。

放置地点：测试中心C-102

负责人：张蕾86686165