透射电子显微镜 (Transmission Electron Microscope)

厂 商 美国FEI公司

型 号 Tecnai F20

到货日期 2007年9月

技术指标:

加速电压：200kV

电子枪：热场发射电子源，能量分辨率£0.7eV；

点分辨率：0 .24 nm；

信息分辨率：0 .14 nm；

线分辨率：0 .102 nm；

放大倍数：25～1,030,000倍

STEM高角环形暗场像分辨率：0 .19 nm；

X射线能谱仪的元素分析范围：Be4～U92

主要用途

透射电子显微镜用来研究各种材料的物质内部显微结构，配合能谱仪附件可以对各种元素进行微区成分分析，提供了从微米直到原子尺度直接观察形貌、界面及晶体缺陷的技术，广泛应用于材料、物理、生物、化学、光电子及纳米技术等领域。主要用途如下：

观察材料的内部显微结构，分析粒径、相组成、生长取向，分析晶体及晶界的缺陷等；

进行材料微区成分分析，及元素的线或面分布；

利用高角环形暗场像，可以观察轻重元素的分布。