扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope）

厂商：Carl Zeiss

型号：EVO 18

参数与指标：

1. 加速电压：200V－30kV，10V步进连续可调；

2. 放大倍数：5×~1000,000×，连续可调；

3. 分辨率：高真空二次电子像=3.0nm（30kV）；

低真空背散射电子像=4.0nm（30kV）；

4. 探针电流范围：0.5 pA~5μA，连续可调；

5. 聚焦工作距离：2mm~145mm；

６.可放置的最大样品尺寸：直径250mm，高度145mm；

７.Ｘ射线能谱探测器：硅漂移探头；有效探测面积２0mm２；

元素探测范围：B（5）~Am（95）

主要用途：

广泛地应用于金属材料（钢铁、冶金、有色、机械加工）和非金属材料（化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维）等检验和研究。在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量。

放置地点：测试中心C-105

负责人：姚懿容86690215