TEM制样室介绍

     透射电镜制样室围绕Gatan691/695型精密离子减薄仪，配有Gatan整套机械预减薄设备（超声波圆片切割机、手动研磨盘、凹坑研磨仪等），可以制备出理想的陶瓷、半导体、金属等材料的TEM样品以及薄膜材料的截面样品（cross-section）。配有RMC-pt xl型超薄切片机（带冷冻附件），可以制备PET、聚酰亚胺、尼龙等高分子及其复合材料的TEM样品。

主要设备型号及参数如下：

1、离子减薄仪

厂商：Gatan691/695、Fischione Model1010

参数：

l  减薄角度：-10°至+10°，可独立调节单枪角度；

l  能量范围：0.1～8kV；

用途：

离子减薄技术其原理是稀薄气体氩气在高压电场作用下辉光放电产生氩离子，氩离子穿过盘状阴极中心孔时受到加速与聚焦后，高能离子束轰击样品表面、高能离子与样品表面原子发生弹性碰撞、样品表面原子能量增大至高于该原子的逸出功时，便飞离样品，这样就使样品表面不断失去原子从而达到减薄的目的。离子束的强度呈锥形分布，中心最强，最后在样品中心出现穿孔。在孔的周围有一圈楔形薄区，可在透射电子显微镜中观察。离子减薄的样品可在TEM 下直接观察。可制备金属、陶瓷、薄膜、复合材料、颗粒等各种材料的透射电镜试样（包括截面样品）。

2、超薄切片机

厂商：RMC-pt xl

参数：

l  切片厚度：70 nm~10μm

l  切片速度：0.1~49.9 mm/s

l  立体显微镜放大倍数：10×~64×

用途：