扫描探针显微镜(SPM)

公司：Veeco（美国）
型号：Dimension3100V

功能：材料的微结构分析，材料表面形貌的观察，材质的定性分析，材料的磁筹以及导电性
工作环境：大气，液体
样品要求：起伏度不超过1微米，材质较硬，Φ≤5cm
工作模式：Scanning Tuning Microscopy（扫瞄隧道显微镜），Atomic Force Microscopy(原子力显微镜)；原子力显微镜又分为Contact mode（接触模式），Non-Contact mode（非接触模式），Magnetic Force Microscopy（磁力显微镜），Conductive AFM（导电模式原子力显微镜）Lateral Force Microscopy（侧向力显微镜）
描述：SPM是一台集众多功能于一身的微观形貌分析仪器，可以通过切换软件来实现不同的功能，以达到测试需求。它的操作简单，维护方便，对待测样品没有特殊要求，分辨率高（可以达到0.01nm）,图像颜色可调，具有多渠道同时独立成像的功能。离线操作可以实现对图像的展平，三维立体视图，剪切，叠加等多种功能。
下图是Si沉底上的ZnO颗粒高度图（形貌图）和相图：