扫描探针显微镜(SPM)

生产厂家：Veeco（美国）

仪器型号：Dimension3100V

主要功能：Dimension 3100 SPM是一款多功能扫描探针显微镜，广泛应用于材料科学、纳米技术、半导体、生物学和表面工程等领域，能够提供从纳米到微米尺度的精确测量。主要测试功能包括： Contact mode（接触模式），Tapping mode（轻敲模式），Magnetic Force Microscopy（磁力显微镜），Conductive AFM（导电模式原子力显微镜）Lateral Force Microscopy（侧向力显微镜），Kelvin Probe Force Microscopy（开尔文探针力显微镜）等。

技术指标：

 最大扫描范围：XY方向≥90 μm； Z方向≥5 μm

 可支持样品尺寸：直径≤150 mm ;厚度≤10 mm

 系统噪音：≤ 0.05nm RMS