主要功能：

    微区形貌分析，分析和检测有机和无机材料微纳米级样品的表面特征形貌。广泛应用于高分子材料、半导体材料、化工原料、地矿物品、金属材料等领域。

    微区成分分析，配置的高灵敏能谱探头是水平放置于电镜极靴正下方，探头由四个独立的硅漂移芯片组成，特别适用于在低束流下分析束流敏感样品，比如生物或半导体样品；分析表面不平整样品，可消除阴影效应；在低加速电压和高放大倍数下，分析纳米颗粒和纳米结构。

主要指标：

u 二次电子分辨率：

0.8 nm (加速电压 15 kV，工作距离4 mm)

1.1 nm (着陆电压 1.0kV，工作距离1.5 mm)(减速模式)

u放大倍率：20x ~ 1,000,000x

u加速电压：0.5 kV~ 30 kV

u工作距离：1.5mm~40mm

u能谱元素分析范围：Be4-Cf98

u能谱分辨率：Mn Ka优于129eV

样品要求：

u化学和物理上稳定的干燥固体或粉末，真空环境中在电子束轰击下不会挥发或变形，不存在放射性和腐蚀性。

u不可含有磁性元素（Fe、Ni、Co等）。

u长宽：0~50mm，高度：≤10mm。