X射线光电子能谱仪（XPS）

    生产厂家：日本岛津Kratos

      仪器型号：AXIS SUPRA

     投入运行时间：2020年8月   

    主要功能：

         X射线光电子能谱仪 (X-ray photoelectron spectroscopy，简称XPS)，用于研究材料表面元素定性、半定量；分析材料表面价态、逸出功；可表面和纵向深度分析元素分布。适用于金属、半导体、有机、无机、薄膜等固体材料分析。此外，X射线光电子能谱仪还可以实现原位加热制冷对元素化学状态的影响分析以及准原位催化反应追踪元素状态的变化。   

   主要附件：

u 双阳极X射线源

u 高能单色化银靶X射线源

u 紫外光电子能谱

u 离子散射谱

u 加热制冷附件

u 气氛敏感样品传输器

u 催化反应池系统 

主要指标：

             ◆ 最佳能量分辨率 Ag 3d_5/2 FWHM ≦ 0.43eV；

             ◆能量分辨率Ag 3d_5/2 峰灵敏度≧150kcps前提下，FWHM ≦ 0.45eV；

             ◆ PET绝缘样品能量分辨率：C-C 灵敏度≧30kcps，O-C=O FWHM≦0.68eV；

             ◆ 快速平行成像空间分辨率1 μm；

             ◆ 双阳极X射线能量分辨率Ag 3d_5/2 峰灵敏度≧650kcps前提下，FWHM ≦ 0.8eV；

             ◆高能单色化Ag靶能量分辨率Ag 3d_5/2 峰灵敏度≧6kcps前提下，FWHM ≦ 0.9eV；

             ◆紫外光电子能谱能量分辨率 以表面清洁Ag 4d 在120mev分辨率下，灵敏度≥1Mcps的前提下，He I：He II≤4:1；

      ◆离子散射谱（ISS）能量分辨率 1keV He 离子作用于清洁标样金表面，灵敏度≥12,000cps/nA下，能量分辨率≤12eV；

      ◆控温范围：-100℃～800℃ 连续可调

   放置地点：测试中心-C108 室

   仪器管理员：江柯敏 苗利静86685181