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辉光放电发射光谱仪

时间:2015-01-10 字体大小:

Glow Discharge Optical Emission Spectrometer)

厂 商:Spectruma Analytik GmbH
型 号:GDA750HP
到货日期:2014年1月
性能指标:
●光源:有DC光源(用于导体材料样品测试)和RF光源(用于含有非导体材
料样品测试),最大功率300W,2W可调;
●光栅:凹面全息光栅,焦距0.75米,2400线/mm;
●波长范围:119nm~800nm;
●分辨率:优于0.024nm;
●溅射速率: 2~5µm/min;
●深度剖析的范围:1nm~200µm;
●检出限:钢铁中C,S,P,N的检出限不大于5ppm。

主要用途:
     用于渗碳渗氮材料、金属镀层、半导体、涂层的表面深度定性、定量分析
和金属材料成份分析。目前,仪器配置的定量分析方法如下:                  
●硅片或二氧化硅上CuInGaSe等深度分析;
●硅片或二氧化硅上SiC,TiB,VC,VN等深度分析;
●锂电池深度分析;
●钕铁硼材料深度分析;
●渗碳渗氮材料深度分析。
●钢铁材料成份定量分析:针对高、中、低合金钢和工具钢的定量分析方法。

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