厂 商 SUSS+Keithley
型 号 PM5+Keithley 4200 SCS
到货日期 2008年3月

技术指标
I-V 测量: 0.1fA~100mA; 1mV~200V; 4 SMU unit
C-V 测量: 20Hz ~2MHz
Hall 效应测量
高阻测量: >100MΩ

主要用途
用于半导体参数及器件特性测试。