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四探针表面电阻测量 (4 Probe Resistivity Test System)
厂 商 Lucas-Signatone 型 号 Pro4-4000 到货日期 2008年3月
技术指标 表面电阻测量范围：1.0×10-3~1.2×106Ω/□
主要用途 用于半导体晶片或薄膜的电阻率和表面电阻的测试。
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