四探针表面电阻测量 (4 Probe Resistivity Test System)

厂 商 Lucas-Signatone
型 号 Pro4-4000
到货日期 2008年3月

技术指标
表面电阻测量范围：1.0×10-3~1.2×106Ω/□

主要用途
用于半导体晶片或薄膜的电阻率和表面电阻的测试。