型号:安捷伦5529B

性能参数：线性测量分辨率：1nm

最大测量距离：40m

激光源：氦氖双频激光干涉仪管

真空激光波长：632.991354nm

激光波长精度：±0.1ppm

激光功率：>180uw

功能和用途：激光干涉仪以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。可以用于几何精度检测，位置精度的检测及其自动补偿，数控转台分度精度的检测及其自动补偿，双轴定位精度的检测及其自动补偿，以及数控机床动态性能检测。同时可测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角；设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性

设备管理员：张杰/13757401459