性能参数：最大脉冲重复频率：600 KHz

输出波长 532nm

最大平均功率 10W

最大脉冲能量 19.5 uJ

脉宽  1.5 ns

光束质量M2 = 1.1

重复定位精度：0.4微米

功能和用途：铝、不锈钢、铜等金属材料，石英、单晶金刚石、多晶金刚石等硬脆材料，非金属材料，复合材料，航空航天用陶瓷基复合材料的划线、刻槽、打孔、表面处理和微织构等微细结构的加工，硅晶片划片、打孔和切割等。

设备管理员：张天润/18637401126