厂 商 日本KEYENCE

型号：VK-X200K

性能参数： 被测物体长*宽*高：50*50*128毫米；

观察倍率200至24000倍，激光扫描平面像素2048×1536；

测量重复精度12 纳米；

线性标尺模组分辨率0.5纳米

功能和用途：具有显微镜、SEM、粗糙度仪功能，可测量薄膜厚度，物件高度、宽度、角度截面积、表面积、体积，以及线粗糙度和面粗糙度。

设备管理员：张天润/18637401126