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厂 商 日本KEYENCE
型号：VK-X200K
性能参数： 被测物体长*宽*高：50*50*128毫米；
观察倍率200至24000倍，激光扫描平面像素2048×1536；
测量重复精度12 纳米；
线性标尺模组分辨率0.5纳米
功能和用途：具有显微镜、SEM、粗糙度仪功能，可测量薄膜厚度，物件高度、宽度、角度截面积、表面积、体积，以及线粗糙度和面粗糙度。
设备管理员：张天润/18637401126
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