厂商：Carl Zeiss

型号：ZEISS Xradia 800 Ultra

参数与指标：

1. 高低分辨率

高分辨：优于50nm真实空间分辨率，

低分辨：150-200nm，要求与高分辨测量匹配。

2. X射线源：旋转阳极X射线源，X 射线管电压40KV，功率1.2KW，

Cu靶，光子能量8keV, 微处理控制。

3. 高效率X射线探测器，CCD相机通过光学系统耦合到闪烁体板：

像素数量：1024 X 1024

灰度级数：16 Bit

动态范围：16位

4. 集成式移动控制和数据采集系统，带有自动图像对中/预对中显微镜样品对中功能。

集成式可见光预对中显微镜：

视场范围 640 X 480 um

放大倍数 10X，分辨率 ≤2 um，像素尺寸1um

照明：可切换反射式和透射式

主要配置及附件：

挠性基座样品架，带有针钳和运动基座；刚性背夹式样品架，带有运动基座。

特色及用途：

Xradia 800 Ultra 是唯一一款用于显微样品三维成像的实验室级超高分辨率CT 扫描仪。高精度 X 射线聚焦光学器件可提供 50 nm 的分辨率，扩展了X 射线 CT的性能，使其远胜于传统CT扫描仪。利用 X 射线无损成像的特性提供样品内部结构的三维图像，并且无需对相关区域进行切割或切片。主要用于断层扫描重构的图像自动对准功能，视野可在 15 至 60 μm 的范围内进行切换。