厂商 韩国ECOPIA
型号 EPS1000
到货日期 2011年9月

1，主要特点及用途
探针台主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。
半导体参数及器件特性或介质阻抗测试时，通过探针台上的探针与器件目标位置连接进行测试。

2，技术参数
体式显微镜最大135倍放大倍数；
针尖直径5微米/10微米，钨材质；
真空泵速率6L/Min；
加热台最高温度：300摄氏度；
卡盘X，Y运动范围（X：100mm, Y:100mm）；
探针台Z向运动范围：40 mm；
针座X，Y，Z运动范围：10*10*10 mm。

3，联系方式
肖惠 1351588638 xiaohui@nimte.ac.cn

4，实验室
新能源所 E217