6月22日，宁波材料所碳基薄膜与涂层技术团队承担的中国科学院仪器设备研制项目——“管状内表面磁场诱导高离化溅射复合PECVD的碳基强化涂层沉积系统”顺利通过技术专家的现场技术测试，设备实际技术指标均达到实施方案要求。

根据项目所涉及的技术领域，这次现场技术测试邀请了中科院沈阳科学仪器股份有限公司的雷震霖研究员担任技术验收组组长。验收会议上，项目负责人汪爱英研究员首先介绍了项目的研制过程和指标完成情况。听取汇报后，专家组审议并通过了技术测试大纲。随后，专家组至设备现场，按照技术测试大纲逐项进行测试，将测试结果与项目任务书进行比对，并查阅了用户使用报告和第三方检测公司出具的检测报告。结合现场测试结果，专家组一致认为项目组研制的“管状内表面磁场诱导高离化溅射复合PECVD的碳基强化涂层沉积系统”所有技术指标均达到或优于实施方案规定的要求。

“管状内表面磁场诱导高离化溅射复合PECVD的碳基强化涂层沉积系统”项目研制了一套具有自主知识产权的新型管状内壁涂层沉积系统，针对航空、海洋等部件对内壁表面涂层的防护需求，聚焦内壁涂层制备面临的均匀性差、膜基结合弱、强韧耐蚀不足的共性难题，提出外磁场诱导和辅助阳极调控的磁控溅射复合PECVD设计思路，突破现有同类装备和涂层的性能极限，开发了小口径（5mm ≤ Φ ≤ 50 mm）、大长径比（3-20）管状内壁强膜基结合、光滑致密、优异耐磨耐蚀的表面强化碳基涂层材料与装备集成技术。该技术将为航空发动机缸筒、轴承、内花键及海水泵液压系统部件内壁的耐磨、耐蚀、强化防护涂层的强结合制备提供有力保障，提升其使役性能用寿命，支撑航空和海洋等重大领域科研发展。

 2022-6-23